基于Helmholtz线圈的电子束高速扫描系统设计

摘要

针对国内电子束偏转扫描线圈的磁感应强度较低、均匀性较差,扫描速度较慢等不足,基于Helmholtz线圈的工作原理,采用空心结构设计了电子束偏转扫描线圈;提出一种双逆推主电路拓扑结构,使扫描线圈的驱动电压增加一倍,从而提高了扫描线圈驱动电流的变化速度;采用电流霍尔传感器和PID调节电路设计了驱动电流闭环控制电路,并利用Labview软件开发了电子束高速扫描控制程序.结果表明:该电子束高速扫描系统扫描线圈的磁感应强度和均匀性能够满足大角度电子束偏转扫描要求,并有效提高驱动电流的变化速率,可以实现电子束高速扫描.