机译:活化室和套件,用于处理设备中以降低电子亲和力,包含所述成套工具并用于降低电子亲和力的处理设备,光电阴极电子束源,含电子枪的电子枪,含电子阴极的电子电极显微镜,扫描电子显微镜,电子束全息照相术,电子束光刻设备,电子束衍射设备和电子束扫描设备
公开/公告号EP3024012B1
专利类型
公开/公告日2018-02-14
原文格式PDF
申请/专利权人 UNIV NAGOYA NAT UNIV CORP;
申请/专利号EP20140826750
发明设计人 NISHITANI TOMOHIRO;
申请日2014-06-12
分类号H01J37/073;H01J1/34;H01J9/12;H01J37/06;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 13:17:39