非球面碳化硅反射镜往复式磨削面形精度建模及仿真

摘要

为优化圆弧面砂轮磨削非球面碳化硅反射镜的加工效果,基于往复式磨削对非球面反射镜的残余高度进行建模,通过残余高度与面形精度的几何关系,建立面形精度预测模型并进行仿真分析.面形精度模型仿真结果表明:随截圆弧长增加或倾角增大,面形精度降低;随砂轮基圆半径增加或砂轮圆弧半径增加,面形精度提高.其中,截圆弧长和砂轮基圆半径对面形精度影响较大.