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孟腾飞; 陈晓阳; 段英丽; 于海洋; 周培根; 王永安;
北京航天微电科技有限公司;
北京无线电测量研究所;
声表面波(SAW)器件; 光刻; 衍射效应; 线宽;
机译:电子束光刻技术制备超纳米晶金刚石基声表面波器件
机译:利用电子束光刻技术实现的基于纳米晶金刚石和氮化铝层状结构的超高频声表面波器件
机译:基于AlN /金刚石层状结构的高频声表面波器件的电子束光刻技术
机译:电子束光刻技术在36掳YX LiTaO 3 inf>衬底上的高频声表面波器件
机译:声表面波器件的高频和宽带研究
机译:基于声表面波电泳的微器件建模—边界条件的研究
机译:声表面波在半导体中的声电效应及其应用研究
机译:声表面波作用下布拉格光栅衍射的偏转声束的角展度
机译:声表面波滤波器的衍射效应隔离结构
机译:声表面波器件的生产方法,涉及将声表面波器件与基座结构连接在凸块上,以便将器件与基座连接
机译:利用这种声表面波器件的生产方式来制造声表面波器件
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