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刘红忠; 丁玉成; 卢秉恒; 王莉;
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室;
分步式压印光刻; 纳米测量; 误差; 激光干涉仪;
机译:外差激光干涉仪中亚纳米级的周期性误差的线性插值(尺寸测量)
机译:基于激光干涉仪的BV75加工中心几何误差测量系统的研究
机译:基于纳米压印光刻制造分布式反馈激光的改进方法
机译:基于点胶的纳米压印光刻中纳米级气泡缺陷的纳米流体研究
机译:分步和快速压印光刻:低压,室温纳米压印光刻。
机译:基于高速高分辨率外差式干涉仪误差模型的高稳定激光源设计
机译:基于per二酰亚胺的分布式反馈激光制造的热纳米压印光刻
机译:基于红外脉冲激光加热的纳米图案混合纳米压印光刻法
机译:用于测量相对于激光束的角度微偏差,优选为机器的旋转误差的方法以及用于测量相对于激光束的角度微偏差,优选为机器的旋转误差的干涉仪
机译:使用极紫外/软X射线激光干涉仪的纳米级光刻
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