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邱志惠; 丁玉成; 刘红忠; 卢秉恒;
西安交通大学先进制造研究所,陕西,西安,710049;
微纳制造; 压印; 光刻;
机译:用于分步式闪光压印光刻的模板基础架构
机译:可降解的交联剂和可剥离的成像材料,用于分步式和快速压印光刻
机译:分步和快速压印光刻工艺中特定于压印的缺陷的研究
机译:分步和快速压印光刻:低压,室温纳米压印光刻。
机译:分步重复液体转移压印光刻技术制造大面积辊模的系统
机译:来自一台定制CNC机床的分步重复纳米压印,照片和激光光刻
机译:在聚合物基板中压印纳米压印光刻的基本原理
机译:使用分步和重复工具制造用于压印光刻的无缝大面积主模板
机译:使用分步和闪光压印光刻技术直接刻蚀蚀刻阻挡层
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