纳米压入法MEMS材料力学性能测量与评定标准化的初步设想

摘要

根据纳米压入法测量与评定MEMS材料力学性能的原理 ,对诸如测量仪器、压头、评定模型、测试条件等影响力学性能测量精确度、测量结果的可比性的主要因素进行了分析。在此基础上 。