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纳米压入法MEMS材料硬度的测量误差分析

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以体积材料硬度和显微硬度测量与评定原理为基础,介绍了纳米压入法MEMS材料硬度的测量与评定原理.根据纳米压入法MEMS材料硬度的测量原理,对纳米压入仪中的产生硬度测量误差的因素进行了分析.针对Vickers压头,给出了测量仪器、压头和压头与试样表面初始接触点引起的测量误差计算公式.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|457-461|共5页
会议地点重庆
作者
赵则祥; 蒋庄德; 王海容; 尹燕玲;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
MEMS材料; 纳米压入; 硬度; 测量误差; 微机电系统;

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