用脉冲激光沉积法制备类金刚石膜及金刚石薄膜

摘要

简要评述了用脉冲激光沉积技术制备类金刚石膜及金刚石薄膜的研究进展，总结了激光脉冲沉积制备薄膜的基本原理及其特点，分析了激光波长、能量、衬底温度等对薄膜质量的影响。