脉冲激光沉积类金刚石膜红外增透技术研究

摘要

采用飞秒脉冲激光沉积法在硅晶片基底上镀类金刚石(DLC)膜，为了提高3～5μm段基底上的红外透过率，对其制备工艺进行了研究。经过大量的实验，对沉积工艺参数进行优化分析，从而总结出一套有效的脉冲激光沉积DLC膜工艺来制备优良的光学保护增透膜。相对于传统的工艺，该工艺大大提高了3～5μm段平均红外透过率。