KDP晶体精密机床静动态特性及实验模态分析

摘要

为保证KDP晶体加工中表面粗糙度、表面波纹度和透射波前三项技术指标,需解决KDP晶体单点金刚石飞刀切削超精密机床加工稳定性和精度差的问题。通过ANSYS Workbench软件对机床进行静态分析,利用有限元模态分析得到机床整机的变形云图和振型云图,并分析了机床结构的固有频率与振型之间的关系。结果表明,主轴箱为机床的薄弱环节,需改变主轴箱内部筋板结构及提高导轨结合面的接触刚度。基于LMS SCADAS进行的机床整机实验模态分析结果与有限元分析之间的最大误差为10.75Hz,验证了有限元分析结果的正确性,并为下一步机床的优化设计奠定了基础。