基于SU-8胶的微针执行器的研制

摘要

利用MEMS技术设计和制作了一种微量取样执行器。执行器由微针、微通道、反应室、电极以及永磁微阵列等各部分组成,通过外部磁场可以实现双向线性地驱动。利用SU - 8光刻胶为主要材料,采用多级曝光和电铸金属实现3D结构的工艺技术,研制出了微针执行器的雏形器件。针尖的尺寸为5 0 0 μm×6 0 μm×6 0 μm,针孔截面为2 0 μm×2 0 μm。