研究扩散屏障层对Mo/Si多层膜软X射线反射率影响的模拟

秦俊岭; 邵建达; 易葵; 范正修

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在特定波长下,用四层结构模型模拟了Mo/Si多层膜的软X射线反射率.研究了扩散屏障层dMo-on-Si和dSi-on-Mo对Mo/Si多层膜软X射线反射率的影响.研究发现,扩散屏障层并不总是损害Mo/Si多层膜的光学性能,通过合理设计dMo-on-Si和dSi-on-Mo厚度,增加dMo-on-Si与dSi-on-Mo的比值,也能提高多层膜的软X射线反射率.

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来源
《光子学报》 |2007年第2期|300-303|共4页
作者
秦俊岭; 邵建达; 易葵; 范正修;
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作者单位

中国科学院上海光学精密机械研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜测量与分析;
关键词
软X射线; 多层膜; 扩散屏障层; Mo/Si; 反射率; 模拟;

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