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等离子体光源; 极端紫外线; 光刻技术; 激发能; 锡微粒子簇;
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机译:下一代光刻河激光等离子体极端紫外线光源
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机译:高性能激光等离子体EUV(极端紫外线)光源 - 锡通孔内消融过程的光源检查
机译:EUV光刻专用的锡掺杂微滴激光等离子体光源的辐射研究。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
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