晶圆级功率器件测试

摘要

功率器件的测试难点在于散热，当前功率器件的供电电压不断下降，从1．2V向0．8v过渡，直流功率超过100W，相应电流从100A增加至200A。功率器件的测试通常很难在晶圆级进行，一般是在芯片级或封装级实施，测试台的供电和散热器的尺寸容易设置，加上可借助强迫风冷或循环水冷实现降温，使散热问题得以解决。