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吴鹿杰; 文庆涛; 高雅增; 卢维尔; 夏洋; 李艳丽; 孔祥东; 韩立;
中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研发中心;
北京100029;
中国科学院大学;
北京101407;
北京交通大学理学院;
北京100044;
中国科学院电工研究所;
北京100080;
北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心;
菲涅尔波带片; 原子层沉积; 聚焦离子束; 高分辨率; 耦合波理论;
机译:通过原子层沉积和聚焦离子束研磨制造的多层菲涅耳波带片有效聚焦8 keV X射线
机译:直流溅射沉积法制备的硬X射线多层菲涅耳波带片的聚焦效率
机译:使用原子层沉积技术制备的W / Al_2O_3多层薄膜的超高X射线反射率
机译:在使用原子层沉积和聚焦离子束制造硬X射线菲涅耳波带片方面的最新进展
机译:基于线性菲涅耳波带片的两态对准系统,用于0.25微米X射线光刻。
机译:通过原子层沉积和聚焦离子束铣削加工的多层菲涅耳波带片有效聚焦8 keV X射线
机译:通过原子层沉积和聚焦离子束铣削制造的多层菲涅耳波带板有效聚焦8keV X射线。误排
机译:硬X射线菲涅耳波带片的材料优化。
机译:菲涅耳波带片和使用菲涅耳波带片的X射线显微镜
机译:菲涅尔透镜的结构,聚光装置,太阳能电池用覆膜玻璃菲涅耳透镜以及太阳能电池用覆膜玻璃菲涅耳透镜的生产过程
机译:使用密集累积射线点的微菲涅耳波带片光学装置
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