原子力显微镜观察硅外延片的表面白雾缺陷

摘要

本文利用原子力显微镜表征硅气相外延生长的白雾片和正常片。实验证明，白雾片是由许多高低起伏很大的颗粒构成的。而正常片的高低起伏很小，一定范围内无颗粒状结构。该实验清楚表明，形成白雾的原因是高低起伏的颗粒的光漫反射。