驱动波形对氯化氪准分子灯222nm辐射效率的影响

摘要

提出了一种测量KrCl*准分子灯222 nm辐射效率的辐射度学方法。KrCl*准分子灯为同轴结构,内管和外管的内,外径分别为14,16和37,40 mm。灯中充有总气压为2×104Pa的氯气(Cl2)和氪气(Kr),其中含0.5%的氯气。KrCl*准分子灯用正弦和脉冲电源来驱动。用紫外功率计测量222 nm辐照度,辐射功率由Keitz公式计算。灯的电功率则通过高压探头和电流互感器结合示波器测量得出。结果表明,KrCl*准分子灯在脉冲电源驱动下的最佳效率(11.4%)是正弦电源的2倍。