纳秒脉冲电源驱动提高KrCl*准分子灯辐射效率的实验研究

摘要

针对目前准分子灯效率偏低的现状,为了从电源角度提高准分子灯紫外辐射的效率,本文对电源驱动类型(正弦/脉冲)以及脉冲电源参数(极性、电压幅值、频率)对介质阻挡放电激发准分子KrCl*(222nm)紫外辐射的影响进行了实验研究.实验结果表明:脉冲驱动比正弦电压驱动紫外辐射的效率提升86.5％；电源的极性对灯的工作特性没有显著的影响,单向负脉冲效果略好些；随着电源电压幅值的增加,准分子灯紫外辐射强度增加,但紫外辐射效率下降；频率升高,准分子灯紫外辐射强度提高,效率随频率变化不明显.本文还对实验结果作了简要分析和理论解释.