基于双声表面波器件的引信加速度传感器

摘要

针对基于压阻效应和电容原理的硅微加速度传感器存在温度漂移、分辨率低和抗干扰能力差的缺点,提出一种基于双声表面波器件的引信加速度传感器.该传感器采用双声表面波器件结构,一个声表面波器件上镀以敏感膜用于测量,另一个声表面波器件是未镀膜的参考通道用于对环境温度、压力、湿度等因素的补偿.验证试验结果表明:基于双声表面波器件的引信加速度传感器最大线性误差仅为1.6％,灵敏度为54.3Hz/g,最大迟滞误差小于1％.该加速度传感器相比于压阻式和电容式加速度传感器,线性误差小、灵敏度高,具有极强的抗干扰能力.