微机电系统电容式微位移检测电路研究

摘要

针对通常微机电系统(MEMS)器件或仪表中微小位移/角度等电容式微弱信号检测的需要,提出了一种基于单载波激励和环形二极管解调的方案,主要包含C/V转换、带通滤波,环形二极管解调,差动放大等环节.基于PSpice的仿真与测试实验表明,该电路检测灵敏度可达3.12V/pF,可满足通常MEMS器件的纳米级微位移测量,且具有体积小、功耗低、易集成等特点,对于微加速度计、陀螺仪、压力传感器等具有良好的实用价值.