化学水浴法制备ZnS薄膜

摘要

cqvip:采用了化学水浴法制备异质结薄膜太阳电池中的窗口层ZnS薄膜。尝试了酸性溶液制备ZnS薄膜,讨论了溶液成分、水浴时间和温度对薄膜成分和形貌的影响。研究结果表明在75℃,6h条件下沉积得到的薄膜最平整,成分最符合化学计量比,退火后薄膜主要为纤锌矿结构的ZnS相。