中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发光学及应用国家重点实验室 吉林 长春 130033;
中国科学院大学 材料科学与光电工程中心 北京 100049;
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中国科学院大学 材料科学与光电工程中心 北京 100049;
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中国科学院大学 材料科学与光电工程中心 北京 100049;
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北京北方华创微电子装备有限公司 北京 100049;
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