全感应式钢栅位移传感器设计

摘要

位移传感器技术是一项对现代科学研究和工业生产有着重要影响的传感器技术,基于电磁感应原理,设计了一套钢栅位移传感系统.整个系统由基于ARM的信号处理主板、激励线圈、感应线圈和钢栅尺构成.主板通过感应信号的检测和计算得到位移信息.使用激光干涉仪进行了性能测试,测试结果表明,传感器分辨率达到1μm,在35 cm的量程内位移误差在10μm左右.系统运行稳定,结构简单易维护,并且可以支持非直线测量,具有较高的实用性.