等离子体浸没离子注入与沉积技术的发展及前沿问题

摘要

等离子体浸没离子注入与沉积技术可实现复杂形状零件表面垂直、均匀地离子注入与沉积处理,在材料表面改性领域具有广泛的应用前景.在技术发明后的20年间,该技术得到了快速的发展,但是也遇到了如何提高离子注入效率和注入均匀性、内表面注入、大面积注入等一系列问题.若上述问题得到解决,将极大的推进等离子体浸没离子注入与沉积技术的工业应用进程.