粉末冶金靶材的制备与应用

摘要

靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、太阳能电池、电子控制器件等领域.随着集成电路、太阳能和平面显示器产业的发展,靶材的种类和市场规模日益扩大,并已发展成为一个专业化产业.目前,随着我国对靶材研发的投入,某些领域国产靶材已取得很大进步并逐渐取代进口靶材,打破了靶材主要由日本、美国和德国垄断的局面.但是,在某些粉末冶金靶材领域内国产靶材还有差距.