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基于UV-LIGA技术的电涡流传感器研制

         

摘要

提出一种用于检测微位移的新型电涡流传感器.该传感器中,两层微平面线圈叠加在坡莫合金铁芯上,分别作为驱动元件与敏感元件.详细给出了微平面线圈的SU-8胶UV-LIGA工艺与磁性铁芯的电铸成形工艺.当激励电流为50kHz的正弦交流信号,而且检测Ni-Fe片与铁芯间隙为10μm时,敏感线圈的输出电压达30mV,并且间隙值在50μm 范围内与输出电压接近为线性关系.传感器尺寸为 5mm×1.6mm,易于集成,能实现对微位移的检测.

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