纳米多孔阳极氧化铝膜形貌的控制研究

摘要

采用38g／L的草酸溶液为电解液，制备了孔洞规则有序，孔径和厚度均一可控的氧化铝模板，并研究了阳极氧化工艺对阳极氧化铝膜形貌的影响。实验结果表明，采用38g／L的草酸溶液作为电解液，经两步法阳极氧化可制得孔径均一，排列规则的多孔阳极氧化铝膜。随着氧化电流密度的升高，氧化膜孔径逐渐增大。电流密度过大，反应放热严重，氧化铝膜孔径均匀性，孔洞形状规则性和有序性都下降。在恒电流密度条件下，氧化膜厚度随着氧化时问的延长呈线性增长，但对氧化铝膜孔径影响较小。