下一代光刻技术(NGL)永无登场之日吗?

摘要

最近Semiconductor International与里德调研公司合作,向光刻工作者调查了对下一代光刻技术的要求与前景展望。果然不出所料,受访者似乎十分愿意尽可能延长使用光学光刻技术。