挠性接头微细加工关键技术研究综述

摘要

挠性接头是精密导航系统的核心部件,其加工质量直接决定了导航的精度.而作为主要弹性感知部位的细筋结构,厚度为40 μm,误差需要控制在1μm以内,属于典型的微细加工技术.文章从挠性接头的加工方法出发,从细筋的刚度解析、仿真建模、加工冷却系统、表面完整性控制和加工尺寸效应阐述细筋的加工研究现状和困难,以期为细筋的微细加工研究提供指导和启示.