多晶硅生产中的废气处理技术研究

摘要

多晶硅生产会产生大量废气,对生态环境污染较大,在持续发展背景下,必须要采取措施对生产废气进行有效处理.目前已经有更多新型技术被应用到多晶硅生产废气处理中,并取得了一定效果,降低废气对环境的污染,并通过处理来降低安全事故发生的危险,对提高生产综合效益具有重要意义.本文对多晶硅生产废气处理技术进行了简要分析.