浅谈磁控阴极溅射镀膜玻璃的膜层保护

摘要

采用磁控阴极溅射工艺生产的离线镀膜玻璃,由于其颜色丰富、性能优良、生产效率高等特点,已经在各个领域得到了广泛的应用。磁控阴极溅射镀膜属于软镀膜,尤其是生产的含有银材料的高性能Low—E镀膜产品,膜层软且不耐氧化,一般镀膜后保质期均在6个月左右,且在包装、转运、加工、存放等环节有着更高的要求。在镀膜基片的储运、加工过程中,操作不当则容易导致膜层的提前损坏,包括膜层划伤、氧化、耐加工能力变差等情况,最终导致质量上的损失。因此提供一种能提高产品耐加工性并降低对产品不利影响的工艺是本文探讨的重点。