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功率器件中影响Trench MOS栅氧生长的因素以及工艺选用对栅氧击穿电压的影响

         

摘要

介绍功率器件中Trench MOS栅氧的物理性质、击穿电压指标和常规在线检测分析方法.从实验出发,详细分析影响Trench MOS栅氧击穿电压的工艺生长的因素,进一步提出不同栅氧工艺的选用对栅氧G-S击穿电压的影响.

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