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郭晓旭; 朱美芳; 刘金龙; 韩一琴; 许怀哲; 董宝中; 生文君; 韩和相;
中国科学技术大学研究生院物理系;
中国科学院半导体材料科学实验室;
中国科学院高能物理研究所;
中国科学院半导体研究所半导体超晶格国家重点实验室;
氢化; 微晶硅; 薄膜; 微结构; 非单晶硅;
机译:高氢稀释制备的硼掺杂氢化非晶硅薄膜的尾态还原
机译:衬底温度和氢稀释:硅薄膜中非晶相到微晶相变的参数
机译:用氢稀释的硅烷和四氟化硅对微晶硅薄膜进行量身定制的电压波形沉积:薄膜的光电性能
机译:高导电的p型纳米晶硅薄膜制备而无需额外的氢稀释
机译:氢化非晶硅,微晶硅和硅基合金薄膜的沉积和表征。
机译:微孪晶和纳米孪晶解释了硅纳米线和硅薄膜中的奇数电子衍射图
机译:使用VHF(70 MHz)GD技术通过氢稀释从非晶硅薄膜到微晶硅薄膜
机译:未掺杂和掺硼氢化非晶硅中的氢扩散和微结构:IR和sIms研究。
机译:高氢稀释低温等离子体气相沉积制备非晶硅系列元素的稳定性能
机译:一种在高衬底功率下使用稀释液在低衬底温度下制备低带隙非晶硅薄膜的方法
机译:高氢稀释的低温等离子体沉积生产的非晶硅基器件的稳定性能提高
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