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王林青; 周永涛; 王军军; 刘雪芹;
微晶硅薄膜; 射频磁控溅射; 氢稀释比例; 低温; 微结构;
机译:氢稀释对射频磁控溅射沉积氢化非晶硅膜局部微观结构的影响
机译:氢稀释对等离子体增强化学气相沉积制备氢化纳米晶硅薄膜的纳米结构和电光特性的影响
机译:氢稀释对射频磁控溅射氢化非晶硅膜中短程和中程的影响
机译:射频磁控溅射制备氢化微晶硅薄膜
机译:反应磁控溅射沉积的优化,以及氢在氢化非晶硅基材料中的扩散研究。
机译:反应性射频磁控溅射沉积β-WO3薄膜的HRTEM显微结构表征
机译:衬底温度和氢稀释比对热线化学气相沉积法生长纳米硅薄膜性能的影响
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