毫米波功率计量标准器芯片的研制

摘要

针对毫米波WR-6波段功率标准器核心芯片需求,设计了芯片整体结构,研究了结构中各层的微加工工艺,制备了温度传感用Pt薄膜,在250℃退火后,100 nm Pt薄膜的电阻温度系数(TCR)达到2.4×10-3/K,相对稳定度为2.4×10-6.安装在毫米波功率标准器上的芯片对110 ～ 170 GHz的反射率低于-23 dB.直流功率灵敏度为0.83 mΩ/mW.