微细图形几何尺寸测量的实验研究

摘要

微细图形的几何尺寸测量是影响大规模集成电路生产效率和质量的重要问题。作者等在DXY-1型线宽轮廓测量仪上对与微细图形几何尺寸测量精度有关的因素进行了实验研究。实验结果表明,该仪器的重复测量精度优于±0.005μm,对比测量偏差△≤0.02μm。