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【24h】

Development of an XY stage operating in the nanometre regime with millimetre range based on novel linear piezoelectric motors

机译:基于新型线性压电马达的纳米级XY工作台的开发

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著录项

  • 作者

    Salisbury, Shaun Patrick;

  • 作者单位

    University of Toronto (Canada);

  • 授予单位 University of Toronto (Canada);
  • 学科
  • 学位 Ph.D.
  • 年度 2007
  • 页码 151 p.
  • 总页数 151
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
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