等离子蚀刻过程的光谱图像采集装置及信号处理方法

目录

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摘要

第一章绪论

1．1研究背景和意义

1．2国内外研究现状

1．2．1微纳尺度感知的研究现状

1．2．2光谱成像的研究现状

1．2．3等离子体检测的研究现状

1．3本文的创新点和章节安排

第二章基本理论

2．1引言

2．2等离子体

2．3声光可调滤光器(Acoustic-Optic Tunable Filter或AOTF)

2．3．2广角AO交互

2．3．3 AOTF的衍射原理

2．3．4 AOTF的基本参数估计

2．4本章小结

第三章硬件系统搭建

3．1引言

3．2反应器装置

3．3设备选型

3．3．1高光谱的选型

3．3．2工业相机的选型

3．3．3镜头选型

3．4采集装置结构

3．5实时采集方法

3．6一体化硬件设计

3．7本章小结

第四章软件系统实现

4．1引言

4．2软件系统二次开发

4．2．1软件系统驱动框架

4．2．2驱动参数配置

4．2．3 AOTF波长、频率的转换

4．2．4函数封装

4．3软件界面

4．4实时采集说明

4．5软件系统移植

4．6本章小结

第五章高光谱信号采集过程中的信号处理

5．1引言

5．2像素合并

5．3为高动态范围优化相机采集参数

5．4腔体反射仿真

5．5实验结果

5．6本章小结

第六章总结与展望

6．1全文研究内容总结

6．2研究展望

参考文献

致谢

攻读硕士学位期间完成的学术论文及专利