三维集成电路中差分传输通道的电路建模与优化设计

目录

声明

1. 引言

1.1. 研究背景

1.2. 研究目的和意义

1.3. 研究进展和现状

1.3.1. GSSG型TSV的建模

1.3.2. 环形TSV的工艺

1.3.3. 无源均衡器

1.4. 论文主要研究内容

2. GSSG型差分传输通道的电路建模

2.1. GSSG型TSV的电路建模与特性分析

2.1.1. 基于MTL方法构建的等效电路模型

2.1.2. 等效电路模型的简化

2.1.3. 模型验证与分析

2.2. 片上差分互连线的电路建模

2.2.1. 电路模型构建

2.2.2. 等效电路模型的简化

2.2.3. 模型验证与分析

2.3.1. 简化电路模型的构建

2.3.2. 模型验证和分析

2.4. 本章小结

3. 针对差分传输通道的无源均衡器设计方法

3.1.1. 基于系统传递函数的无源均衡器设计

3.1.2. 结果验证与分析

3.2.1. 基于系统传递函数的无源均衡器设计

3.2.2. 均衡器的“过补偿”现象

3.2.3. 基于ISI消除算法的无源均衡器设计方法

3.3. 针对完整差分传输通道的无源均衡器设计方法

3.3.1. 基于ISI消除算法的无源均衡器设计方法

3.3.2. 无源均衡器物理结构的设计

3.4. 本章小结

4. 差分传输通道的串扰研究与解决方案

4.1. GSSG型差分传输通道的串扰问题

4.2. SD-ATSV结构与工艺

4.3. SD-ATSV热力学特性

4.4. 考虑浮硅效应的电路模型

4.4.1. 阻抗参数提取

4.4.2. 导纳参数提取

4.5.1. 非线性电容分析

4.5.2. 频域特性分析

4.5.3. 时域特性分析

4.6. 本章小结

5. 针对屏蔽差分传输结构的无源均衡器设计方法

5.1. SD-TSV的简化电路模型

5.2. RC无源均衡器的设计

5.3. 本章小结

6. 总结与展望

6.1. 全文总结

6.2. 未来工作展望

致谢

参考文献

附录