单晶铌酸锂薄膜微环谐振器的研究

目录

声明

第一章绪论

1.1 引言

1.2.1 铌酸锂晶体

1.2.2 单晶铌酸锂薄膜的研究现状

1.3 单晶铌酸锂薄膜微环谐振器的研究现状

1.4 本文主要完成的工作

第二章微环谐振器的建模仿真

2.1 光波导的基本理论

2.2.1 基本结构与工作原理

2.2.2 微环谐振器性能的基本参数

2.3 微环谐振器仿真设计

2.3.1 直波导仿真设计

2.3.2 微环波导仿真设计

2.3.3 掩膜版设计

2.4 本章小结

第三章单晶铌酸锂薄膜微环谐振器的制备

3.1.1 光刻掩模技术

3.1.2 磁控溅射技术

3.1.3 氩离子刻蚀技术

3.1.4 反应离子刻蚀技术

3.1.5 扫描电子显微镜（SEM）

3.1.6 原子力显微镜（AFM）

3.2 铌酸锂波导的制备

3.2.1 金属掩模的制备

3.2.2 刻蚀工艺研究

3.3 单晶铌酸锂薄膜微环谐振器的制备

3.4 本章小结

第四章微环谐振器的测试与分析

4.1 光学测试平台及测试流程

4.1.1 光学测试平台

4.1.2 测试流程

4.2 测试数据分析

4.2.1 光波导传输损耗测试

4.2.2 微环谐振器Q值及调制深度测试

4.3 本章小结

第五章全文总结与展望

5.1 全文总结

5.2 后续工作展望

致谢

参考文献

攻读硕士学位期间取得的成果