声明
1 绪论
1.1 课题研究背景和目的
1.2 研究现状
1.3 本课题的主要研究内容
2 白光干涉虚拟测量模型及误差分析
2.1 基于相移法的虚拟测量模型
2.2 虚拟测量结果分析与讨论
2.3 本章小结
3 磨削表面形貌特征分析与讨论
3.1 磨削表面形貌测量实验
3.2 功率谱密度的定义和计算方法
3.3 磨削表面形貌的功率谱密度分析和分形特征
3.4 本章小结
4 磨削表面形貌干涉测量二维修正算法
4.1 高频形貌误差修正算法
4.2 轮廓修正结果分析与讨论
4.3 本章小结
5 磨削表面形貌干涉测量三维修正算法
5.1 分解叠加法
5.2 二维功率谱密度法
5.3 两种算法的结果对比
5.4 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢
大连理工大学;
