基于光谱反射原理的高深宽比沟槽深度测量技术研究

目录

声明

第1章 绪论

1.1 课题研究目的及意义

1.2国内外研究发展现状

1.3本文主要研究内容

第2章 光谱反射系统测量原理

2.1基于离散傅里叶变换的光谱反射系统测量原理

（1）频率域干涉强度

（3）提取光学路径时间延迟变量 Δt

（4）相位解包裹值 φuw(ν)

（5）求深度 d

2.2光谱反射测量系统的搭建

2.2.1 消色差光学系统的光学设计

2.2.2实验系统光源的选取

2.3维纳滤波

2.4本章小结

第3章 光谱反射系统仿真分析

3.1MEMS沟槽的模型建立

3.2反射光谱强度的数学模型建立

3.2.1单沟槽的反射光谱强度

3.2.2沟槽阵列的反射光谱强度

3.2.3 粗糙度对反射光谱强度的影响

3.2.4 噪声的影响及处理

3.2.5梯形刻面的影响

3.3本章小结

第4章 光谱反射测量系统的实验验证

4.1光谱反射测量实验

4.1.1 光谱反射系统实验装置的搭建

4.1.2光谱仪分辨率的选取

4.2光谱反射测量实验

4.2.1光谱反射图像及离散傅里叶变换处理

4.2.2解包裹值取相位

4.3重复性精度

4.4本章小结

第5章 结论

参考文献

附录A 相关程序代码

攻读硕士学位期间取得的成果

发表论文

发明专利

参加的科研项目

致谢