1 绪 论
1.1 研究背景
1.2 国内外研究现状
1.2.1 近场超分辨聚焦器件
1.2.2 远场超分辨聚焦器件
1.2.3 基于相位调控超材料的超分辨聚焦器件
1.2.4 基于超材料的偏振调控器件
1.3 存在的问题及解决方案
1.4 研究内容
1.5 本论文章节安排
2 超振荡聚焦光场设计方法
2.1 光学超振荡
2.2 矢量角谱衍射理论
2.3 基于矢量角谱理论和粒子群算法的器件设计方法
2.4 本章小结
3 基于亚波长光场调控的超表面结构
3.1 二值振幅——相位调控的单元结构
3.2 亚波长四分之一波片结构
3.2.1 反射型棒状天线调控机理
3.2.2 亚波长四分之一波片工作原理
3.2.3 相位——偏振独立调控的亚波长四分之一波片组
3.3 本章小结
4 超分辨聚焦器件设计
4.1 基于二值振幅——相位调控的超分辨聚焦器件设计
4.2 结构参数对器件聚焦性能的影响
4.2.1 氮化硅膜层厚度误差对器件聚焦性能的影响
4.2.2 氮化硅宽度误差对器件聚焦性能的影响
4.3.1 柱矢量光场
4.3.2 L=-1的径/角向偏振转换器设计
4.3.3 L=0的径/角向偏振转换器设计
4.4.1 器件仿真结果
4.4.2 器件的宽带特性
4.4.3 大尺寸矢量光场超分辨聚焦器件的宽带特性研究
4.4.4 结构参数和材料参数对器件聚焦性能的影响
4.5 本章小结
5 器件加工方法及测试结果
5.1 基于二值振幅——相位调控的远场超分辨聚焦器件的加工和测试
5.1.1 器件加工工艺
5.1.2 样品表征
5.1.3 器件测试系统
5.1.4 测试结果
5.1.5 测试结果分析
5.2 基于“十”字形双折射超表面的偏振转换兼聚焦器件加工与测试
5.2.1 器件加工工艺
5.2.2 样品表征
5.2.3 器件测试系统
5.3 本章小结
6 总结
6.1 论文工作总结
6.2 主要创新点
6.3 研究工作展望
参考文献
附录
A 作者在攻读博士学位期间发表的论文和专利目录
B 作者在攻读博士学位期间参与的研究课题(本论文课题)
C 作者在攻读博士学位期间所获奖项
D 基于双层同心圆环的超分辨聚焦器件结构参数
E 学位论文数据集
致谢
重庆大学;