基于MEMS技术的金属氧化物半导体p--n异质结乙醇微型传感器

目录

声明

摘要

第一章绪论

1．1引言

1．1．1金属氧化物半导体及异质结

1．1．2敏感机制

1．1．3金属氯化物半导体传感器的发展

1．2 MEMS传感器

1．2．1 MEMS传感器简介

1．2．2 MEMS气体传感器的发展

1．2．3 MEMS气体传感器的技术优势

1．2．4 MEMS气体传感器面临的挑战

1．3传感材料与MEMS工艺集成的方法

1．3．1原子层沉积

1．3．2电镀法

1．3．3阳极氧化法

1．3．4湿法刻蚀

1．3．5磁控溅射

1．4本论文研究内容与意义

1．4．1本论文研究意义

1．4．2本课题研究内容

第二章实验部分

2．1实验主要试剂与仪器

2．2气敏测试体系

第三章基于共溅射法制备Pd掺杂SnO2-NiO异质结构MEMS乙醇气体传感器

3．1引言

3．2实验部分

3．2．1 Pd掺杂Sn2-NiO气体传感器的制作

3．2．2传感膜和装I的表征

3．2．3传感膜气敏的测试

3．3结果与讨论

3．3．1传感膜形态,组成和化学状态表征

3．3．2传感膜的气敏性能

3．4 Pd／SnO2-NiO传感器的敏感机制

3．5本章小结

第四章MEMS制备敏感的SnO2-NiO交联网络传感器

4．1引言

4．2实验部分

4．2．1 PS微球阵列模板的制备

4．2．2交联MOS气体传感器的制作

4．2．3薄膜衰征

4．2．4气敏测试

4．3结果与讨论

4．3．1形态，组成和化学状态表征

4．3．2传感器气敏性能表征

4．4交联网络传感器的敏感机制

4．5本章小结

第五章结论

参考文献

致谢

发表的学术论文

作者和导师简介