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致谢
摘要
插图和附表清单
第1章 绪论
1.1 研究背景及意义
1.2 国内外相关研究进展
1.2.1 光学内反射小角度测量法
1.2.2 基于牛顿环的小角度测量的研究
1.2.3 圆光栅测角法
1.2.4 环形激光器法
1.2.5 激光干涉测角法
1.3 本文主要研究内容
1.4 本章小节
第2章 二维激光微角度传感器工作原理及其关键技术
2.1 二维激光微角度传感器测量原理
2.2 二维激光微角度传感器光学系统
2.3 二维激光微角度传感器关键技术研究
2.3.1 光斑圆化处理技术
2.3.2 光学器件整合技术
2.3.3 高焦测量技术
2.3.4 优化噪声处理技术
2.3.5 二维测量解耦技术
2.4 本章小结
第3章 二维微角度传感器性能测试及分析
3.1 实验设备
3.2 实验方案设计
3.3 测量系统稳定性测试
3.3.1 电源稳定性测试
3.3.2 信号处理电路稳定性测试
3.4 传感器性能测试及角度测量实验
3.4.1 角度传感器稳定性及漂移测试
3.4.2 量程及线性度
3.4.3 分辨率测试
3.4.4 重复性误差测试
3.4.5 对照实验
3.5 微角度测量实验误差来源分析
3.6 本章小节
第4章 二维激光微角度测量系统
4.1 二维微角度解耦测量系统硬件研制
4.1.1 四象限光电探测器特性及工作模式
4.1.2 前置放大电路设计
4,1.3 主放大电路及滤波电路
4.1.4 DSP选型及通用外围电路设计
4.2 二维微角度测量系统软件设计
4.2.1 软件开发环境简介
4.2.2 软件总体设计
4.2.3 系统初始化模块
4.2.4 A/D采样模块
4.2.5 通信模块
4.3 二维微角度测量仪的研制
4.4 本章小节
第5章 结论及展望
5.1 结论
5.2 展望
参考文献