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第一章序言
1.1太阳能电池的研究意义
1.2太阳能电池的研究现状
1.2.1单晶硅太阳电池
1.2.2多晶硅电池
1.2.3薄膜太阳电池
1.3硅太阳能电池工作原理
1.3.1 p-n结的形成
1.3.2硅太阳电池的基本结构及性能
1.4小结
第二章多晶硅薄膜制备
2.1引言
2.2晶体硅薄膜太阳电池研究的技术路线
2.2.1高温沉积和区熔再结晶
2.2.2低温沉积
2.2.3层转移技术
2.3多晶硅薄膜的制备方法
2.3.1化学气相沉积法(CVD,Chemical Vapor Deposition)
2.3.2液相外延(LPE)
2.3.3二次晶化的方法
2.3.4层转移方法
2.4小结
2.5开题思想
第三章电化学制备多孔硅
3.1引言
3.2多孔硅的形成
3.2.1多孔硅的形成机理
3.2.2多孔硅形成的理论模型
3.2.3多孔硅的制备方法
3.2.4多孔硅巨大的表面积使其具有很多独特的性质
3.3实验设计
3.4结果及分析
3.4.1多孔硅孔隙率的研究
3.4.2多孔硅表面形貌的分析
3.4.3多孔硅的剥离研究
3.4.4多孔硅层反射率
3.5小结
第四章多孔硅上制备晶硅薄膜
4.1实验设计
4.2结果与分析
4.2.1衬底对硅薄膜微结构的影响
4.2.2热退火和快速光热退火分析
4.2.3退火温度对固相晶化的影响
4.2.4掺杂对固相晶化的影响
4.2.5退火时间对固相晶化的影响
4.2.6退火晶化后出现的翘皮
4.3小结
第五章结论及下一步设想
5.1结论
5.2实验还需完善
5.3实验的进一步设想
参考文献
硕士期间发表论文
致谢