PROFACTOR Produktionsforschungs GmbH, Im Stadtgut A2, A-4407 Steyr-Gleink, Austria;
closed loop control; on-line monitor; nitriding; spectroscopic ellipsometry; surface treatment;
机译:光栅耦合光波导干涉仪与原位光谱椭圆仪相结合以监测水溶液中的表面过程
机译:光谱椭圆偏振法,用于监视和控制表面,薄层和界面
机译:立式炉原位光谱椭圆偏振法:高温过程的监控
机译:光谱椭圆形测量作为用于在线监测和控制表面处理过程的工具
机译:使用实时光谱椭圆偏振法原位控制和监视图案化半导体的干法和湿法蚀刻。
机译:高通量培养过程中的复制方法和工具-通过在线监测识别生长和产品形成的潜在变化
机译:椭圆偏振光谱法研究氢原子与氮化镓表面的相互作用
机译:原位光谱椭偏仪作为探测薄膜生长的表面敏感工具