Department of Electronics Engineering, National Chiao-Tung University, Hsinchu, Taiwan 30050, ROC;
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机译:脉冲感应耦合N_2等离子体中纳米SiO_2薄膜的氮化模型
机译:异质结太阳能电池应用偶氮薄膜电感耦合氢等离子体加工
机译:使用感应耦合NH_3等离子体在室温下氧化石墨烯(GO)膜的还原和氮化
机译:电感耦合等离子体氮化过程对HFALO_X薄膜可靠性的影响
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析