STMicroelectronics, 850 rue Jean Monnet, 38256 Crolles, France;
Mentor Graphics, 8005 S.W. Boeckman Rd., Wilsonville, OR USA;
Mentor Graphics, 13/15 rue Jeanne Braconnier, Meudon la foret, France;
STMicroelectronics, 850 rue Jean Monnet, 38256 Crolles, France;
Optical Lithography; OPC; RET; Inverse Lithography; Local Printability Enhancement;
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